在曩昔良多年中，人们对计较才能的需要不时增加，致使电子产物的庞杂性和产量都呈指数级增加。纳米级制作的高本钱和高矫捷性已成为开辟立异产物的首要妨碍。超低本钱、高机能制作东西的新奇平台经由过程将进步前辈的处置才能与大尺寸的基板分手，从而消弭了这一妨碍。利用较小的基板也能够进步机能，并优于现有的商用东西。一向努力于完美和扩大其微细加工和纳米加工才能，并不时寻觅能够赞助完成这一方针的新手艺。Alicat半导体压力节制器和MFC系列品质流量节制器供给了一(yi)个机能、靠得住性(xing)和价(jia)钱(qian)之(zhi)间无需折中的(de)处理计划，这(zhei)使其(qi)成为纳米级制作体系的(de)气体节制须要(yao🔯)构成局部。

Alicat为这一挑衅供给了的精确性、呼应才能和节制气体流量需要。Alicat半导体压力节制器和MFC系列品质流量节制器供给了一个机能、靠得住性和价钱之间无需折中的处理计划，这使其成为纳米级制作体系的气体节制须要构成局部。

Alicat半导体MCE系列真空气体品质流量节制器接纳了层流差压(DP)手艺，可同时丈量98种气体的品质流量、体积流量、压力和温度，并进行全温度和压力弥补。MCE系列节制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、节制呼合时候为50-100毫秒。Alicat品质流量节制器以惊人的精度和呼合(he)时(shi)候大(da)大(da)进步尝试(shi)品质。