CVD（催化气相色谱积聚）是种常利(l🌼i)于的资科(ke)分(fen)离纯化(hua)匠人，它能够经过过程中(zhong)在低温环境(jing)下负气物份子和外(wai)观造成来堆放资科(ke)。

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PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜成份原子的气体电离，在部ᩚᩚᩚᩚᩚᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤ꦚ⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ𒀱ᩚᩚᩚ分构成等离子体，而等离子体化学活性很。